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在半導(dǎo)體制造邁向更精細工藝節(jié)點的今天，晶圓缺陷檢測已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實現(xiàn)晶圓全域、無需轉(zhuǎn)動與傾斜、無損、高分辨率檢測，為先進制程提供堅實支撐。
該方案配備超大行程樣品臺（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實現(xiàn)“原尺寸、原位置"觀測。系統(tǒng)搭載肖特基場發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達1.0 nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5 nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與材料。
超大行程兩軸位移臺(行程>300mm)，可實現(xiàn)12寸晶圓的全范圍觀測
國儀量子12英寸晶圓檢測方案集成自動進樣與光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，支持晶圓快速更換與精準定位，大幅提升檢測效率與一致性。結(jié)合智能軟件系統(tǒng)，可實現(xiàn)自動對焦、像散校正與多格式圖像輸出，助力用戶高效完成從缺陷定位到工藝優(yōu)化的全流程任務(wù)。
國儀量子12寸晶圓電鏡，不僅是一臺觀測設(shè)備，更是推動半導(dǎo)體制造邁向更高良率與更小節(jié)點的關(guān)鍵工具。
9月26-30日 武漢
2025年全國電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會
國儀量子八大電鏡解決方案
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